北京日报客户端记者8月3日从北京经济技术开发区管委会获悉，落地在经开区的北京集成电路核心装备创新产业园离子注入机科研生产条件建设项目已突破正负零节点，将在8月底力争主体结构封顶。项目建成后，预计可实现离子注入机年产能150台，为经开区及本市集成电路产业发展注入强劲动力。

何为离子注入机？通俗来看，这是芯片工厂里的一台超高精度的“原子狙击枪”，是制造晶体管必不可少的核心装备。如果将硅晶圆想象成一块纯净的“硅土地”，那么离子注入机将在这片“硅土地”上进行精准定点“施肥”，把带电离子高速打进硅片内部。一块先进芯片，制造全过程需要经历多次离子注入。因此，CPU（中央处理器）、手机芯片，存储芯片、光伏芯片等生产线，全都离不开离子注入机。

据悉，作为支撑离子注入机技术攻关与产业化发展的重点工程，离子注入机科研生产条件建设项目位于北京经开区兴光二街6号，新建装备生产厂房1栋以及相关配套，主要为满足离子注入机研发、工艺试制、科研生产保障等空间需要。

项目拟依托北京中科信半导体股份有限公司现有研发体系，搭建国际先进的离子注入机中试研发平台及规模化生产线，开展全谱系新型离子注入机技术开发、核心模块迭代升级与整机批量生产。建成后，将形成全系列离子注入机产品矩阵，进一步完善经开区及全市集成电路产业生态。

项目自启动以来，经开区在规划审批、要素保障、施工协调等环节实现靠前服务，从项目落地到开工建设，各部门主动对接、协同联动，在手续办理、资源调度等方面给予支持，为项目推进提速。自今年年初开工以来，面对工期紧、任务重、汛期施工等多重挑战，项目团队扎根一线、全力攻坚。地下结构施工期间，项目团队日均深入基坑驻场3至4轮次，从材料入场到工序交接再到质量验收，全链条跟踪、全过程把控，截至目前，累计完成各类验收200余次。

作为首都高精尖产业主阵地，北京经开区已聚集超400家集成电路相关企业，形成了以北方华创、中芯国际、长鑫集电为龙头，涵盖设计、制造封测、装备零部件等环节的集成电路全产业链。面向未来，经开区将稳步推进产能升级，以头部设计企业战略需求为牵引，全面加强重大项目建设，加快工艺演进迭代，构建从芯片设计、制造到应用的产业生态闭环，形成要素高度集聚、创新高效协同的产业生态体系。

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