第八届MEMS智能传感器产业生态发展大会在安徽蚌埠举行

奔流新闻4小时前

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奔流新闻讯（首席记者张鹏翔）5月31日上午，第八届MEMS智能传感器产业生态发展大会在安徽蚌埠举行。中国科学院院士段树民、毛明、刘胜，中国工程院院士蒋庄德、杨树兴等900余名专家学者和企业家出席会议。

此次大会以“芯聚江淮智感世界”为主题，由安徽省科技厅、中国兵器工业集团有限公司民品产业部、蚌埠市政府、中国微米纳米技术学会、异质异构集成微系统全国重点实验室、临近空间环境特性及效应全国重点实验室联合主办，中国传感器与物联网产业联盟大力支持。

蚌埠是中国三大传感器研发制造基地之一，深耕MEMS传感器30余年，是安徽省唯一、全国为数不多的同时拥有集成电路及MEMS晶圆生产线的城市。近年来，蚌埠市依托安徽北方微电子研究院等大院大所和龙头企业，加快布局智能传感产业，制定出台了《蚌埠市推动智能传感产业高质量发展若干政策》《关于支持智能传感产业人才发展的十条措施》等系列政策，组建了超70亿元的智能传感产业发展基金，实施了全国首部促进智能传感产业发展条例，全市已集聚智能传感产业相关企业200余家，形成了涵盖材料装备、研发设计、晶圆制造、封装测试、终端应用的产研一体、链群共生的发展格局，中国传感谷跻身全国十大高质量传感器园区第六位。

开幕式上，异质异构集成微系统全国重点实验室成功揭牌，并正式发布“MEMS-OCS(光交叉互联芯片)微纳集成工艺体系”“CavPiezo(Cavity-SOI Piezo，空腔型绝缘体上硅基压电MEMS 工艺体系)工艺体系”“SMCD(Surface Micromechanical Capacitive Device:表面微机械电容式器件工艺体系)工艺体系”等三套原创工艺技术和七款产品，破解了微纳领域核心技术瓶颈，搭建了自主可控技术与产业体系。

大会期间，《集成传感与微系统》期刊正式发布，主办单位为安徽北方微电子研究院集团有限公司。该期刊旨在打造高水平的学术交流平台，致力于推动从集成器件、智能传感到微系统集成的全产业链创新融合，汇聚科研智慧，助力关键核心技术突破。期刊聘请中国科学院院士刘胜担任主编，安徽北方微电子研究院集团有限公司董事长陈丙根、东南大学教授黄庆安担任执行主编。